突破傳統(tǒng)輪廓測(cè)量，實(shí)現(xiàn)Z軸全量程測(cè)量
ITC設(shè)備采用全新的智能跟蹤測(cè)量法，通過先進(jìn)的雙軸聯(lián)動(dòng)運(yùn)動(dòng)控制算法和零滯后的精密運(yùn)動(dòng)軸對(duì)被測(cè)件表面輪廓進(jìn)行智能實(shí)時(shí)跟蹤仿形，掃描被測(cè)件的二維輪廓點(diǎn)云，再通過專用的軟件算法，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)測(cè)量功能。
先進(jìn)的理念，科學(xué)的方法，使設(shè)備具有極高的精度，在測(cè)量穩(wěn)定性、測(cè)量速度和量程方面同樣具有其他設(shè)備不可比擬的優(yōu)勢(shì)！
| 型號(hào) | ITC1000 | ITC3000 | ITC5000 | ||||||||
| 11 | 12 | 12 | 13 | 14 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | ||
| 導(dǎo)軌單元 | |||||||||||
| 導(dǎo)軌結(jié)構(gòu) | 混合式 | 混合式 | 混合式 | 混合式 | |||||||
| 測(cè)量范圍 | X軸 | ≥185mm | ≥225mm | ≥225mm | ≥265mm | ≥325mm | ≥325mm | ≥365mm | ≥425mm | ≥525mm | ≥625mm |
| Z軸 | ≥185mm | ≥225mm | ≥225mm | ≥265mm | ≥325mm | ≥325mm | ≥365mm | ≥425mm | ≥425mm | ≥425mm | |
| 直線度 | X軸 | ≤0.55μm/100mm | ≤0.45μm/100mm | ≤0.25μm/100mm | ≤0.7μm/100mm | ||||||
| Z軸 | ≤0.6μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.3μm/100mm | ≤0.3μm/100mm | |||||||
| 導(dǎo)軌殘值噪聲 | X軸 | Ra≤0.025μm | Ra≤0.012μm | Ra≤0.006μm | Ra≤0.012μm | ||||||
| Z軸 | Ra≤0.025μm | Ra≤0.015μm | Ra≤0.01μm | Ra≤0.01μm | |||||||
| 傳感器單元 | |||||||||||
| 分辨率 | X軸 | 0.02μm | 0.01μm | 0.001μm | 0.001μm | ||||||
| Z軸 | 0.02μm | 0.01μm | 0.001μm | 0.001μm | |||||||
| Z軸測(cè)量系統(tǒng) | 雙反饋 | 雙反饋 | 雙反饋 | 雙反饋 | |||||||
| 輪廓測(cè)量精度 | |||||||||||
| 距離測(cè)量 | X軸 | ±(1.5+L/100)μm | ±(0.8+L/100)μm | ±(0.6+0.9L/100)μm | ±(1.2+L/100)μm | ||||||
| Z軸 | ±(1.5+H/100)μm | ±(0.8+H/100)μm | ±(0.6+0.9H/100)μm | ±(0.6+0.9H/100)μm | |||||||
| 圓弧測(cè)量 | ±(1.2+R/15)μm | ±(0.8+R/15)μm | ±(0.8+R/12)μm | ±(1.5+R/10)μm | |||||||
| 形貌測(cè)量精度 | |||||||||||
| 圓弧Pt | ≤0.8μm | ≤0.5μm | ≤0.3μm | ≤0.6μm | |||||||
| 直線Pt | ≤0.8μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.6μm/100mm | |||||||
| 運(yùn)動(dòng)控制 | |||||||||||
| 測(cè)量方向 | T | 雙向 | 雙向 | 雙向 | 雙向 | ||||||
| L | 單向 | 單向 | 單向 | 單向 | |||||||
| 自動(dòng)接觸 | T | 雙向自動(dòng)接觸 | 雙向自動(dòng)接觸 | 雙向自動(dòng)接觸 | 雙向自動(dòng)接觸 | ||||||
| L | 單向自動(dòng)接觸 | 單向自動(dòng)接觸 | 單向自動(dòng)接觸 | 單向自動(dòng)接觸 | |||||||
| 測(cè)量速度 | 0.2mm/s~0.７mm/s | 0.2mm/s~0.７mm/s | 0.2mm/s~3mm/s | 0.2mm/s~3mm/s | |||||||
| 移動(dòng)速度 | 5~10mm/s | 5~10mm/s | 5~30mm/s | 5~30mm/s | |||||||
| X軸末端控制 | 自鎖 | 自鎖 | 自鎖 | 自鎖 | |||||||
精密測(cè)量解決方案提供商
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